[제20250909-TE-01호] 2025년 9월 9일 반도체 장비 관련 주요 뉴스 요약

아드반테스트, 차세대 마스크용 CD-SEM E3660 출시

(2025년 9월 9일, 전자신문, 이경민 기자)

[핵심 요약]

[1] CD-SEM E3660 신제품 출시

반도체 테스트 장비 기업 아드반테스트가 포토마스크 및 EUV 마스크 치수 측정을 위한 차세대 고정밀 전자현미경(CD-SEM) ‘E3660’을 출시.

[2] 2nm 노드 대응, 정밀·재현성 대폭 강화

E3660은 임계 치수(CD) 재현성을 20% 이상 개선했으며, 차세대(2㎚ 노드 이후) 미세 패턴 및 곡선형 패턴 생산에 특화됨.

[3] 고속·다중포인트 측정 및 핫스팟 대응

웨이퍼·마스크 회로의 복잡성과 패턴층 증가에 따라 요구되는 빠르고 정밀한 다중 측정, 리소그래피 핫스팟 대응 능력도 확보.

[4] 아이멕과 공동 개발, 신뢰성 입증

벨기에 imec과의 협력을 통해 EDA툴 및 기존 장비와 데이터 상관성을 검증해 측정 신뢰성을 확보.

[5] 차세대 마스크 개발·양산 평가 장비 기대

곡선 패턴 최적화, 고속 계측 기술 기반으로 외부 고객 및 반도체 제조사 마스크 개발·양산평가의 핵심 장비로 자리매김 전망