[제20250709-TE-01호] 2025년 7월 9일 반도체 장비 관련 주요 뉴스 요약

인피니티시마, SK하이닉스 D램 공정에 첨단 계측장비 공급

(2025년 7월 9일, ZDNet Korea, 장경윤 기자)

[핵심 요약]

[1] 첨단 계측장비 공급 및 양산 라인 적용

인피니티시마가 SK하이닉스 양산 라인에 ‘메트론 3D’ 300mm 인라인 웨이퍼 계측 시스템을 공급함. 여러 공정 단계에 대한 시스템 특성화 및 평가를 거쳐 적용됨.

[2] 서브 나노미터 3D 공정 제어 제공

메트론 3D는 차세대 메모리 디바이스 제조에 필요한 서브 나노미터 정확도의 3차원 공정 제어 기능을 제공함. 첨단 D램 공정에서 고수율을 보장하는 데 중요한 역할을 함.

[3] 대량양산(HVM) 구현 및 비용 효율성

메트론 3D는 대량양산에 필요한 비용 효율성을 갖춘 우수한 3D 계측 성능을 입증함. 나노미터 수준에서의 3차원 공정 제어가 점점 더 중요해지고 있음.

[4] 고속·고정밀 계측 기술 적용

인피니티시마의 RPMTM(Rapid Probe MicroscopeTM) 기술을 적용해, 기존 원자현미경(AFM) 처리량보다 10~100배의 AFM 계측 능력을 보유함.

[5] 완전 자동화 및 대량 생산 최적화

시스템은 완전 자동화된 웨이퍼, 데이터, 프로브 핸들링 기능을 지원해 반도체 디바이스의 인라인 대량 생산에 최적화됨. SK하이닉스는 기술 리더십 유지를 위해 지속적으로 첨단 장비 투자에 나서고 있음