[제20250917-TE-01호] 2025년 9월 17일 반도체 장비 관련 주요 뉴스 요약

中 반도체 자립 속도…SMIC, 국산 DUV 노광장비 시험 가동

(2025년 9월 17일, 연합뉴스, 김현정 기자)

[핵심 요약]

[1] SMIC, 국산 심자외선(DUV) 노광장비 첫 시험 가동

중국 최대 파운드리 업체 SMIC가 상하이 스타트업 위량셩이 개발한 국산 DUV 노광장비를 28나노 공정용으로 시험 운전 시작.

[2] 핵심 기술 국산화로 ASML 의존 탈피

DUV 노광장비는 네덜란드 ASML 제품에 의존해왔으나, 국산 장비 도입으로 첨단 장비 확보와 기술 독립 추진.

[3] 공정 확장 및 수율 개선 과제

이번 시험 장비는 멀티 패터닝 기술을 활용해 7나노 칩 생산도 도전 예정이나, 2나노 등 첨단 공정은 여전히 EUV 장비가 필요.

[4] 부품 국산화·대량 생산 불확실성

국산화 시도 중에도 일부 부품은 해외 조달에 의존, 전량 국산화·높은 수율·안정적 대량 생산 등 해결 과제가 잔존.

[5] 반도체 자립 가속화 및 시장 반응

중국 빅테크 기업의 AI 반도체 생태계 확대와 맞물려 자립 시도가 속도, 노광장비 관련 주가 급등 등 시장 기대감 확대.