[제20251013-TE-01호] 2025년 10월 13일 반도체 장비 관련 주요 뉴스 요약

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삼성, CNT 펠리클 검사 장비 개발

(2025년 10월 13일, 한국경제, 강해령 기자)

원문보기: https://www.hankyung.com/article/2025101356161

[핵심 요약]

[1] 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 검사 장비 국내 개발

삼성전자가 미국 KLA와 협력해 기존 EUV 방식 대비 비용 40% 절감한 CNT 펠리클 검사 장비를 개발.

[2] CNT 펠리클 특성 및 장점

그물망 형태의 다공성 구조로 빛 투과성 우수하고 유연성이 높아 파손 위험 감소.

[3] 고가 일본 검사장비 대체 가능

기존 고가 일본장비 의존도 감소, 제조원가 절감 효과 기대.

[4] 국내 소재 기업과 공동 개발

삼성전자는 에프에스티와 CNT 펠리클 소재 개발 중이며, KLA 검사장비에 에프에스티 제품 공급 추정.

[5] 차세대 반도체 제조에 CNT 펠리클 적용 의지 강해

삼성의 신규 장비 개발은 CNT 펠리클 상용화 및 적용 확대 의지가 강하다는 것으로 해석됨