[제20251116-TE-01호] 2025년 11월 16일 반도체 장비 관련 주요 뉴스 요약

반도체 2나노 주도권 놓고 한·일전 불붙었다

(2025년 11월 16일, 한국경제, 황정환 기자)

[핵심 요약]

[1] EUV 펠리클 경쟁 본격화

반도체 2나노 이하 초미세공정 확산과 함께 EUV 펠리클 시장이 급성장하며, 기존 일본 미쓰이의 독점 체제에 한국 업체들이 본격적으로 도전하고 있음.

[2] 국내 기업, 소재 국산화 집중

에프에스티, 에스앤에스텍 등 한국 소부장 기업은 삼성전자와 공동 개발을 통해 CNT 기반 2세대 EUV 펠리클 양산에 나서며 기술의 국산화 골든타임을 맞고 있음.

[3] 공정·장비·소재 패러다임 변화

EUV 포토마스크와 펠리클 수율·내구성 요구가 높아지며 CNT와 같은 신소재가 도입되고, ASML의 최신 고해상도 EUV 장비를 활용한 2나노 공정이 본격화됨.

[4] 시장 성장 및 비용 부담

글로벌 EUV 펠리클 시장은 2022년 400억원에서 2030년 2조4000억원으로 성장할 전망이며, 장비와 소재 가격 상승으로 높은 투자 부담이 발생하고 있음.

[5] 2나노 전환기, 신뢰성 확보 중요

초미세 공정 경쟁에서 국산 펠리클의 신뢰성과 수율이 입증되어야 시장 내 공신력을 확보할 수 있다는 업계 평가가 나오고 있음.