[제20260317-TE-01호] 2026년 3월 17일 반도체 장비 관련 주요 뉴스 요약

원자력硏, 반도체 핵심 '이온주입 전력공급장치' 국산화 성공

(2026년 3월 17일, 뉴시스, 김양수 기자)

[핵심 요약]

[1] 이온주입장치 핵심 전력공급장치 국산화 성공

한국원자력연구원이 고전압 환경에서도 안정적으로 전력을 공급할 수 있는 절연형 모터제너레이터(MG-SET)를 자체 개발하며 반도체 핵심 장비 기술 국산화 달성

[2] 고전압 환경 대응 위한 절연 구조 적용

이온주입장치는 수만~수십만 볼트의 고전압으로 작동해 일반 전원과 직접 연결이 어려워 모터와 발전기를 전기적으로 분리하는 절연 구조가 필수이며 이를 해결한 장치 개발

[3] 절연축·곡면 설계로 안정성 확보

전기는 차단하고 회전 동력만 전달하는 절연축과 전압 집중을 막는 곡면 구조 설계를 적용해 코로나 방전 억제와 전력 안정성 확보

[4] 비용 70% 절감·납기 대폭 단축 효과

국산화로 제작 비용을 해외 제품 대비 약 70% 절감하고 납기를 10개월에서 3개월 이내로 줄여 공급 효율 크게 개선

[5] 반도체 장비 해외 의존도 감소 기대

맞춤형 설계와 국내 유지보수가 가능해지면서 반도체 장비 분야의 해외 의존도를 낮추고 기술 자립 기반 강화 기대