[제20260611-TM-01호] 2026년 6월 11일 반도체 제조 관련 주요 뉴스 요약

에너지연, 반도체 결함 억제하는 '고순도 ND₃' 국산화...해외 시장 진출도 노린다

(2026년 6월 11일, 전자신문, 김영준 기자)

[핵심 요약]

[1] 반도체용 고순도 중수소 암모니아 국내 최초 개발

한국에너지기술연구원이 반도체 제조 공정에 사용되는 고순도 중수소 암모니아(ND₃) 생산 기술을 국내 최초로 개발하며 수입 의존도가 높았던 핵심 소재의 국산화 기반 확보

[2] 반도체 소자 결함 억제용 특수가스 공급 기대

ND₃는 반도체 소자 내부 결함을 줄이는 데 활용되는 소재로 수요가 지속 증가하고 있지만 그동안 국내 생산 기술과 설비가 없어 일본과 중국 등 해외 공급에 의존해 온 상황

[3] 자체 개발 루테늄 촉매로 고순도 생산 성공

연구진은 자체 개발한 루테늄 촉매를 적용해 하루 7.7kg 규모 생산에 성공했으며 기존 공정보다 훨씬 낮은 압력과 개선된 온도 조건에서 99% 이상의 고순도 ND₃ 합성 구현

[4] 장시간 운전 검증 통해 신뢰성 확보

개발 공정을 1000시간 이상 연속 운전하며 성능을 검증했고 한국산업기술시험원 인증을 획득했으며 반도체 성능에 영향을 주는 불순물 발생도 없음을 확인

[5] 글로벌 특수가스 시장 진출 기반 마련

국내 생산 기반 확보를 넘어 생산 규모 확대와 공정 최적화를 통해 반도체·디스플레이·정밀화학 산업용 동위원소 소재 시장 진출을 추진할 계획이며 해외 특수가스 시장 진출 가능성도 기대