삼성, CNT 펠리클 검사 장비 개발 (2025년 10월 13일, 한국경제, 강해령 기자) 원문보기: https://www.hankyung.com/article/2025101356161 [핵심 요약] [1] 탄소나노튜브(CNT) 펠리클 검사 장비 국내 개발 삼성전자가 미국 KLA와 협력해 기존 EUV 방식 대비 비용 40% 절감한 CNT 펠리클 검사 장비를 개발. [2] CNT 펠리클 특성 및 장점 그물망 형태의 다공성 구조로 빛 투과성 우수하고 유연성이 높아 파손 위험 감소. [3] 고가 일본 검사장비 대체 가능 기존 고가 일본장비 의존도 감소, 제조원가 절감 효과 기대. [4] 국내 소재 기업과 공동 개발 삼성전자는 에프에스티와 CNT 펠리클 소재 개발 중이며, KLA 검사장비에 에프에스티 제품 공급 추정. [5] 차세대 반도체 제조에 CNT 펠리클 적용 의지 강해 삼성의 신규 장비 개발은 CNT 펠리클 상용화 및 적용 확대 의지가 강하다는

SK하이닉스, EUV 장비 2배 늘린다…2년 내 20대 추가 (2025년 9월 24일, 전자신문, 권동준 기자) 원문보기: https://www.etnews.com/20250924000306 [핵심 요약] [1] EUV 노광장비 20대 추가...

한미반도체, AI 반도체용 '빅다이 FC 본더' 양산 공급 (2025년 9월 22일, 전자신문, 박진형 기자) 원문보기: https://www.etnews.com/20250922000125 [핵심 요약] [1] 2.5D 첨단 패키징 본더 출시...

빛으로 웨이퍼 '박막' 검사…파크시스템스, 웨이퍼 고속 전수 검사 장비 개발 (2025년 9월 21일, 전자신문, 박진형 기자) 원문보기: https://www.etnews.com/20250919000064 [핵심 요약] [1] 이미지 분광...

한미반도체, 인공지능 연구본부 출범 (2025년 9월 18일, 전자신문, 박진형 기자) 원문보기: https://www.etnews.com/20250918000089 [핵심 요약] [1] AI 연구본부 신설 및 전문인력 확대 한미반도체가 기존...

中 반도체 자립 속도…SMIC, 국산 DUV 노광장비 시험 가동 (2025년 9월 17일, 연합뉴스, 김현정 기자) 원문보기: https://www.yna.co.kr/view/AKR20250917143800009?input=1195m [핵심...